電線・加工品
Cable & Assembly

低アウトガスケーブ ルシリーズ

低アウトガスケーブルシリーズ(VLC, ELC)

Low volatile Gas Cable Series (VLC, ELC)

低アウトガスケーブルシリーズは、RoHS指令に対応した
耐環境に考慮したケーブルです。特に、設備や装置に
悪影響を及ぼすガス(アウトガス)量は、
一般ケーブルと比べ 1/100程度と低い為に
半導体製造装置などクリーンな環境が必要とされる
場面で使用されています。
製品はPVCタイプのVLCシリーズと、ハロゲンフリー材料
から成るELCシリーズの2種類を用意しております。
尚、アウトガスとはケーブル材料から発生し、
半導体製造装置、ウェハー等を汚染する物質を含む
ガスのことです。
用 途

半導体製造装置などに

設備や装置に悪影響を及ぼすガス(アウトガス)を嫌う、半導体製造装置などのケーブルに最適。
特 長

VLCシリーズとELCシリーズ

  • 半導体製造装置などの有機物汚染対策ケーブルとして使用。
  • VLCシリーズ・・・汎用PVC材料からアウトガスを低減した低アウトガスケーブル。
  • ELCシリーズ・・・ハロゲンフリー材料からアウトガスを低減した低アウトガスケーブル。
  • RoHS指令に適合しています。

TUFRETと従来材料の比較

Fig.1 VLCシリーズ、ELCシリーズと一般ケーブルとのアウトガス量比較

全体シールド付きタイプによる構造例

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