電線・加工品
Cable & Assembly

VLCシリーズ、ELCシリーズ

同シリーズは、RoHS指令に対応した耐環境に考慮したケーブルです。特に、設備や装置に悪影響を及ぼすガス(アウトガス)量は、一般ケーブルと比べ 1/100程度と低い為に半導体装置で使用されています。
製品は、PVCタイプのVLCシリーズと、ハロゲンフリー材料から成るELCシリーズの2種類を用意しております。
尚、アウトガスとはケーブル材料から発生し、半導体装置、ウェハー等を汚染する物質を含むガスのことです。
(RoHS指令:ヨーロッパにおける電気電子機器に関する特定有害物質使用制限指令)

主な用途

半導体製造装置の有機物汚染対策ケーブル

ケーブルの製品紹介

VLCシリーズ(Vinyl Low Contamination)

汎用PVC材料からアウトガスを低減する配合を開発

ELCシリーズ (Ethylene Low Contamonation)

ハロゲンフリー材料からアウトガスを低減する配合を開発

ケーブル構造の一例

特長